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NXP系列多維度光學耦合臺產品概述
說明：
NXP 系列多維度光學耦合臺包含六軸耦合臺和三軸耦合臺，以及可用于其他產品的手動驅動和電動驅動。它適用于光纖、波導、光電封裝和任何其他高分辨率對準或定位應用，包括通用實驗室任務。創新的柔性設計與模塊化驅動系統相結合，提供了卓*的性能和靈活性。
NXP 系列六軸耦合臺的位移臺在移動平臺前都有不銹鋼探針，標記所有旋轉軸的公共支點，所有旋轉軸都具有公共支點，可以減少系統的對準時間。
NXP 系列多維度光學耦合臺產品內部沒有導軌軸承，平行撓性設計確?；_連續的運動和長期的穩定性，非常適用于亞微米級分辨率的應用。對于納米定位應用，提供內置壓電驅動器的版本。這種結構相對于滑臺組維的方式，穩定性有極大的提高，在溫度較為恒定的條件下，產品適用于光纖對準等需要保持靜態粘接的應用中。
NXP 系列多維度光學耦合臺可進行手動驅動 / 電動驅動快換，可滿足空間中不同維度使用混裝驅動器。
命名規則
NXP系列多維度光學耦合臺選型表
注：表格為NXP系列產品型號匯總，其中紅色標注型號為研發中產品
六軸高精度耦合臺
型號 | NXP-6M | NXP-6P | NXP-6NP | |
行程 | X 、Y 、Z直線行程為4 mm。Rx、 Ry、 Rz(擺動、俯仰和偏轉)行程為4 。(70mrad) | |||
傳動比 | X軸和Y軸傳動比為1： 1.5，驅動器每平移1 mm，位移臺將平移1.5 mm；Z軸的傳動比為1:1；三個旋轉軸驅動每平移 1μm，旋轉17μrad | |||
分辨率 | 見驅動 | |||
旋轉中心 | 公共旋轉中心；最大串擾100 µm | |||
壓電 | 規格 |
無 | 開環壓電 | 閉環壓電 |
行程 | 19µm | |||
分辨率 | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad | |||
最大負載 | 1kg | |||
共振頻率 | >130 Hz(±10%) | |||
熱穩定性 | 1μm/℃ | |||
三軸高精度耦合臺
型號 | NXP-3M | NXP-3P | NXP-3NP | |
行程 | 4 mm | |||
傳動比 | 1:1 | |||
分辨率 | 見驅動 | |||
串擾 | 100um | |||
頂板平行度 | ＜100µm | |||
壓電 | 規格 | 無 | 開環壓電 | 閉環壓電 |
行程 | 19µm | |||
分辨率 | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad | |||
最大負載 | 1kg | |||
共振頻率 | >130 Hz(±10%) | |||
熱穩定性 | 1μm/℃ | |||
驅動
型號 | DNXP-M | DNXP-A |
驅動類型 | 手動 | 電動 |
行程 | 13mm 與NXP系列設備配合使用后行程4mm | 8mm 與NXP系列設備配合使用后行程4mm |
分辨率 | 粗調10 µm，微調0.5 µm | 1.25 µm |
電機 | 無 | 28步進電機，步距角1.8。 |
限位 | 內置限位開關 | |
定位精度 | 雙向重復性為5.0 µm |
NXP多維度光學耦合臺尺寸圖
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